產(chǎn)品型號(hào)：InVue6550

產(chǎn)品介紹：Entegris 正在使用創(chuàng)新的流量控制技術(shù)解決當(dāng)今的流量控制挑戰(zhàn)。 6550 型 InVue集成流量控制器 (IFC) 專為散裝化學(xué)品流量控制而設(shè)計(jì)。 IFC 6550 型設(shè)計(jì)的流速為 60、90 或 120 L/min，非常適合用于次晶圓廠散裝化學(xué)品輸送應(yīng)用以及需要高流量的液體處理系統(tǒng)。集成流量控制器采用成熟可靠的差壓流量測(cè)量技術(shù)和先進(jìn)的閉環(huán)過(guò)程控制。 視覺(jué)指示器為預(yù)防性維護(hù)、故障排除和警報(bào)狀況提供診斷，使用戶能夠集成更多的過(guò)程功能。InVue 集成流量控制器 6550 型設(shè)計(jì)用于超純液體化學(xué)品、去離子水和 CMP 漿料應(yīng)用。 它還設(shè)計(jì)用于控制氣泡產(chǎn)生介質(zhì)。

性能特點(diǎn)：

使用成熟可靠的差壓流量測(cè)量技術(shù)和先進(jìn)的閉環(huán)過(guò)程控制

視覺(jué)指示器為預(yù)防性維護(hù)、故障排除和警報(bào)狀況提供診斷

集成壓力傳感器提供額外的過(guò)程信息

使用氣泡產(chǎn)生介質(zhì)經(jīng)過(guò)驗(yàn)證的測(cè)量和控制

堅(jiān)固的設(shè)計(jì)提供穩(wěn)定性和長(zhǎng)期可靠性

設(shè)計(jì)為 60、90 或 120 L/min 流速

上海連航機(jī)電科技有限公司專注于為中國(guó)工業(yè)企業(yè)供應(yīng)進(jìn)口備品備件，提供過(guò)程控制技術(shù)詢問(wèn)，工業(yè)自動(dòng)化集成設(shè)計(jì)與改造，成套設(shè)備與技術(shù)引進(jìn)等工業(yè)技術(shù)應(yīng)用及產(chǎn)品供應(yīng)服務(wù)。為緊跟工業(yè)科技發(fā)展步伐，連航分別在德國(guó)和美國(guó)設(shè)立了公司和倉(cāng)儲(chǔ)，一舉鞏固了采購(gòu)能力，擴(kuò)大了由工廠直采加產(chǎn)品集散帶來(lái)的二度成本優(yōu)勢(shì)，進(jìn)而提升了終端服務(wù)效率與水平。

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